石墨舟和硅片哪个导电好，石墨舟为什么要饱和

石墨舟和硅片都具有较好的导电性能，但它们的应用场景和导电方式有所不同。石墨舟是一种用于工业炼制和加工的舟艇，由于石墨具有高导电性能，因此石墨舟在液态金属中的导电性能较好。而硅片作为半导体材料，其导电方式则是通过控制半导体材料的掺杂和结构来实现。因此，虽然石墨舟和硅片都具有较好的导电性能，但它们的导电方式和应用场景有所不同。

石墨舟导电性能明显优于硅片的导电性能，因此石墨舟和硅片在镀膜过程中存在着明显的竞争，导致石墨舟与硅片接触的区域沉积速率低，形成严重的色差，以致电池片外观不良和电学性能较差，因而必须对石墨舟进行氮化硅饱和处理，使石墨舟与硅片具有相近的导电性。

石墨舟为什么要饱和

舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚，使得镀膜的均匀性表现良好，是石墨舟的最佳状态。而石墨舟使用后期，由于内壁上沉积的氮化硅很厚，会导致局部氮化硅膜脱落，引起舟的表面状态发生变化，并且氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起色差偏的产生。因此石墨舟饱和程度不够和石墨舟使用次数太多都会使镀膜的均匀性变差。

石墨舟使用次数太多会使内壁沉积过厚的氮化硅膜，就需要将石墨舟内壁表面的氮化硅膜洗掉，重新进行饱和工艺之后再运行工艺。随着技术发展，工艺过程中对氮化硅膜厚度的要求越来越厚，以及设备功率越来越大，会增加洗舟次数，降低石墨舟的寿命。

为了提高镀膜的均匀性，延长石墨舟的使用寿命，在石墨舟饱和工艺中采用先镀一层SiC膜，然后再渡一层SiNx膜的处理方法，可以有效的降低色差片的比例，增加合格率。