单晶炉工作原理，单晶炉为什么用氩气

基本原理：多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后。经过骸籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，转肩，等经，收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。

金属单晶，由于所有的真空系统都会存在漏气，所以如果空气对骇体的质量影响较大就要采用气氛保护。我生长单晶的时候用的是高纯Ar，生长时大概有十几个大气压吧。生长气氛主要还是根据你具体生长的材料和你设备可以保持的真空度而定，如果你的炉子保压不是很好，而且设计当中也可以承受一定的正压就建议使用正压生长。

直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的，正常情况下是取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗。检查热场（石墨托碗、加热器、电极等）是否正常，并根据生产炉次对机械真空泵进行清洗换油。然后进入下一炉的生产流程：装料---抽真空----化料----拉制----停炉---拆炉。

单晶炉为什么用氩气

因为氩气在单晶硅生产中具有重要作用,氩气是惰性气体,它作为一种保护气体包围在单晶硅 和多晶硅的液面周围,可以保护单晶硅和多晶硅不被氧化。

氩气是一种单原子气体,以原子状 态存在,在高温下没有分子分解或原子吸热的现象。

氩气的比热容和热传导能力小,即本身吸 收量小,向外传热也少,所以氩气的存在还可以减少热能的散失,起到节能的作用。  

不仅如此 ,由于氩气在单晶炉内是流动的,所以还可以带走硅液中的挥发物,以及高温下的其他部位 的挥发物,这样一来,就可以防止单晶硅或多晶硅液被沾污,而影响单晶硅的产品质量。

另外,氩气从上而下形成均匀的层流从晶体表面掠过,可以带走结晶潜热,从而可以保证单晶硅正常生长。